德国NanoPhotonics公司表面缺陷检测系统
产品概述
德国NanoPhotonics公司成立于1997年,其设备主要用于半导体生产中裸芯片表面,边缘,背面的沉积材料及基片的缺陷探测,可用于基板如检测掩模板(光罩)上的颗粒、划痕、缺陷、微米级粗糙度等。
产品特点
REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统
1. 65nm微粒灵敏度
2. 激光暗区域测量技术
3. 一级洁净环境
4. 可选晶圆工作台
5. 集成迷你PC和平板显示器
6. 离线分析
7. 工业标准
8. 自动化软件
技术参数
适用不同底材和尺寸
-光罩基板尺寸:2.5¨×2.5¨—8¨×8“
-晶圆尺寸:2¨—12¨
应用材料
硅片、玻璃、复合半导体材料、透明薄膜、金属薄膜、单晶硅和多晶硅等