-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump 应用原理: 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。 深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。 在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）： 1、水汽捕集器 它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。 2、低温冷阱 放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。 根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装. 本公司研发生产的-145℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、品牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过国际先进水平。 主要的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%； 2、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，较低可到-150℃； 3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温; 4、一台设备可设计两路负载输出； 5、压缩机，环保混合型制冷剂; 6、完善的自动化控制； 7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示； 8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷； 9、除霜温度自由设定； 10、具有水温温度、排气温度显示； 11、缺水、水温过高报警； 12、压缩机排气过高、压力过高保护； 13、电源断电、缺相报警； 14、可本地、远程控制自由转换； 15、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。 -145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump 型 号 TH-145-3P TH-145-5P TH-145-7P TH-145-10P TH-145-12P TH-145-15P 压缩机功率(KW) 2.8 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3 工作温度（℃） -120℃至-150℃ 抽气速度（l/s） 30600 51000 73,000 101,000 153,000 250,000 制冷量（W） 300 500 1200 1800 2500 3500 冷凝管表面积(m2) 0.15 0.3 0.5 0.7 1.0 2. 0 冷凝管长度 8m,φ6mm 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 24m,φ16mm 40m,φ16mm 预冷时间（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40 降温时间（min） ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7 除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6 适用油扩散泵径（mm） ≤300 ≤500 ≤800 ≤1000 双路输出 双路输出 冷却方式 风冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 适用腔体直径（mm） ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000 冷凝盘管的制作 根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。 输入、输出的接口 冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。