美国SONIX超声波扫描显微检查系统 ECHO LS
特点
SONIX Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于 bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有卓越的检测性能。提高生产效率和产量，使用 ECHO 的设备和软件
容易的设置和使用
工艺过程监测
合格/失效分选
专业认证
SONIX 扫描探头频率范围从 10MHz 到 300MHz,适合各种类型的应用和材料。
优势：
减少实验室空间（占地面积小）
键盘快捷键（方便移动操作）
全焊接机身框架（促进平台稳定性）
降低水槽高度（人体工程学设计）
可同时进行反射扫描和透射扫描
360 度可视
超大扫描面积
水槽底部倾斜（易于排干水）
探头随 Z 轴移动（取代托盘上下移动）
可滑动支架
符合欧洲机械指令
紧凑、稳定的结构设计（低维护）
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑动的电气面板（方便维护）
防静电涂层（安全罩、水槽、门等）
规格参数：
扫描轴（X 轴）：
定位装置： 线性伺服马达
速度：1000mm/sec
重复精度：+/-0.5um
编码器分辨率：0.5um
扫描区域：350mm
步进轴（Y 轴）：
定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达
分辨率：0.25um
扫描区域：350mm
聚焦轴（Z 轴）：
定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达
分辨率：0.25um
行程：50mm
夹具：
JEDEC 标准尺寸托盘夹具
扫描平台可固定特有的托盘夹具
透射杆探头固定
机台尺寸：
W31”xD31”xH48’’(约长 79cm*宽 79cm*高 122cm)
流体系统：
循环泵和 5um 过滤器
超声波仪器
DPR500 接收器 配置 L2/H4 脉冲发生器
可选 U4 超高频脉冲发生器
其它：
带脚轮的摆放桌
紧急开关和安全锁
较低的取放样品区域
其它特色软件功能选项
TAMI SCAN: 一次扫描得到最多 200 张断层图像
ICEBERG: 强大的离线分析技术
WinIC Pro: 增加功能和分析
WinIC Offiline：远程分析
Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器
ECHO 机台面板与 WinIC 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC 软件是 Sonix 公司研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供先进的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。
SONIX 软件优势
● 可编程扫描，自动分析
定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据
● FSF表面跟踪线
样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片
● ICEBERG离线分析
存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析
● TAMI断层显微成象扫描
无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，最快速完成分析。
SONIX 软件 - 应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能
